二手 KLA / TENCOR eS32 #9412413 待售

KLA / TENCOR eS32
ID: 9412413
E-Beam inspection system.
KLA/TENCOR eS32是專門為半導體制造商設計的掩模和晶圓檢測設備。它能夠檢查構成掩模和晶片電子元件的復雜圖案設計。該系統能夠對掩模和晶片執行高分辨率檢查,分辨率小於0.1 um。此外,該裝置的設計高度靈活,支持晶圓級和頂層檢查。機器通過將掩模或晶片暴露於光源並使用高級成像工具對其成像來操作。此資產能夠以小於0.1um的分辨率檢測客戶端的設計功能。它還能夠對每個周期最多16個站點進行現場檢查。這使產品能夠快速、高精度地進行檢查,並保持符合行業標準。此外,該型號設計為用戶友好,具有高度的定制。該過程從暴露前檢查開始。在此步驟中,將根據所需的產品設置成像設備的參數。這包括調整圖像分辨率、圖像配準、對比度等參數。一旦曝光前檢查完成,面罩或晶片就暴露在檢驗光源和拍攝的圖像中。然後,系統使用專門的算法將產品的設計特征與預期的設計特征進行比較。檢測到的任何差異都會向用戶突出顯示,從而可以快速高效地進行檢查。最後,該單元提供曝光後分析,使用戶能夠深入查看檢測到的任何問題或差異的細目。此外,機器還收集了檢查進度的綜合數據日誌。這包括缺陷數量及其位置等信息。這些功能便於追蹤和完整的檢查記錄。KLA eS32掩模和晶片檢查工具是一種獨特的解決方案,可提供高分辨率的成像、快速的檢查時間和可定制的功能。此資產使制造商能夠快速準確地檢查其產品,使其符合行業標準。
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