二手 KLA / TENCOR eS35 #9225299 待售
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ID: 9225299
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
E-Beam inspection system, 12"
EFEM
UI
Power box
IPDU
2010 vintage.
KLA/TENCOR eS35是為高端半導體制造設計的掩模和晶圓檢測設備。它使用光學、電氣和機械傳感器的組合來檢測蒙版和晶片表面的缺陷和缺陷。KLA eS35使用五項專利技術來準確檢測和識別潛在缺陷，並且可以收集每秒多達1000個樣本站點的數據。該系統采用基於高分辨率激光和相機的集成掩模和晶圓成像單元。此機器捕獲圖像數據,然後由高性能計算機工具進行處理和分析。資產可以檢測到第四紀圖樣區域、坑、裂縫、灰塵、汙垢以及掩模和晶片上的顆粒殘留物等特征。TENCOR ES 35利用專利的「離軸技術」檢測缺陷。該模型采用獨特的離軸成像技術，使設備能夠更準確地檢測掩模和晶片表面的缺陷。它能夠測量微米級缺陷，而這些缺陷在傳統系統中往往沒有被註意到。系統創建樣本曲面的3D輪廓,從而可以檢測到最小的缺陷。ES 35配備了復雜的缺陷分類算法。該單元能夠將缺陷歸類為臨界或非臨界缺陷，也能夠根據大小、形狀、位置、共面性和汙染對缺陷進行分類。該機器還具有先進的學習算法，可以根據過去的檢查結果自動學習。TENCOR eS35有一個高級操作員界面，使用戶能夠自定義檢查參數、查看實時圖像、圖形、DICE報告等。該工具還與行業標準通信協議兼容，允許在線集成到現有半導體生產系統中。總體而言，eS35是一種強大而可靠的資產，旨在準確、快速地識別和分類掩模和晶片表面的缺陷。該模型具有高度可配置性,但易於使用,對於那些希望在不影響質量的情況下降低成本的用戶來說,它是一個絕佳的選擇。
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