二手 KLA / TENCOR ES35D #9254833 待售

KLA/TENCOR ES35D是用於半導體制造設施的掩模和晶圓檢測設備的獨特組合。該工具有助於檢測芯片制造中使用的圖像和晶片的微觀缺陷。它具有一個檢查區域,可容納356 mm x 438 mm的掩模尺寸和508 mm的晶圓尺寸。該系統使用專利的低反向散射激光學習傳感器（L3S）技術來識別圖像和晶片上的缺陷。該技術在檢測缺陷時提供了極高的靈敏度和準確性，可以檢測顆粒汙染物和布局缺陷。它還能檢測到亞微米級的缺陷，小至0.05微米，並能以高精度檢測缺陷。該單元由前端和後端兩部分組成。在前端，機器利用多通道光學與可變變焦鏡頭提供高分辨率圖像。該工具捕獲的圖像可以實時處理，允許用戶同時有效地檢查多個晶圓和掩碼。在後端,資產可以標記圖像分析（IA）測量和關鍵的整體缺陷檢查,以查明潛在缺陷的位置。它還提供了模式匹配和形狀識別功能,以識別需要無缺陷晶片或掩碼的位置。模型可以將圖像導出到其他位置或將檢查數據保存在數據庫中。KLA ES35D旨在將誤報級別降至最低並提高生產吞吐量。該設備還具有若幹自動化功能，可提高檢查速度和準確性，並減少人工檢查時間。其先進的模式識別技術有助於識別和分析粒子的位置和布局缺陷。總體而言，TENCOR ES35D是用於各種高分辨率圖像和晶圓檢測任務的先進可靠工具。專為提高制造速度和精度而設計。其激光學習傳感器（L3S）技術，加上專用的後端功能，使其成為一個極為有用的系統，可滿足廣泛的半導體生產需求。