二手 KLA / TENCOR eS805 #293641968 待售

KLA/TENCOR eS805掩模和晶圓檢測系統為當今半導體生產線的缺陷、工藝、計量掩模和晶圓檢測提供了卓越的性能和可靠性。KLA eS805使開發、表征、調試和生產控制能夠滿足高級流程節點的嚴格要求。TENCOR eS805結合了先進的串聯過程控制技術,包括SEM映像和卓越的多元分析功能,使客戶能夠靈活地開發自己的配方或利用工廠提供的配方來正確檢查設備。利用其具有高效引擎優化和可調參數的量子算法處理器（QAP），可以解決各種過程控制難題。eS805專為靈活配置而設計,具有幾種可現場升級的選項,例如選擇晶圓尺寸以提高工作效率、選擇高分辨率SEM （HR-SEM）以提高圖像質量,以及選擇用於超大型覆蓋區域的高功率激光。KLA/TENCOR eS805還支持多種外圍設備,包括多區域投影目標（MZPO）以提高各個批次的均勻性,以及側面照明的側視圖檢測器。KLA eS805還提供了一套廣泛的軟件實用程序,使客戶能夠輕松監控產量,建立產品的可追蹤性,並快速識別流程問題。Traceability Enhancement Tool （TET）允許監視跨多個晶圓、源和批次的粒子演化。符合人體工程學的高級MOTIF™用戶界面具有用於處理和顯示檢查結果的高級算法,包括按需視圖、統計信息和顯示。該系統還具有離線審查和分析功能。TENCOR eS805旨在完成廣泛的檢查任務,同時提供更高的過程控制性能和數據吞吐量。憑借其高分辨率的成像、先進的光學系統以及精密的圖像處理和計量工具，eS805是各種晶圓和掩模檢查應用的理想選擇。