二手 KLA / TENCOR EV300 #9399037 待售

KLA/TENCOR EV300是一種先進的掩模和晶片檢測設備，旨在檢測、表征和糾正各種缺陷。該系統結合高分辨率光學成像、可編程缺陷審查、缺陷避免和校正自動化技術，提供卓越的晶圓檢測性能。該裝置的光學成像技術能夠檢測小至0.25微米的缺陷。這臺高度靈敏的成像機針對掩模和晶片圖樣的檢查進行了優化，允許高度精確的檢查結果。該工具的可編程缺陷審查工具能夠自動檢測和分類各種缺陷。該工具被編程為檢測和分類移位、模糊、縫合和OPC缺陷等類型。該資產還采用了避免缺陷技術，在檢查和糾正檢測到的缺陷時減少誤報數量。KLA EV 300還包括先進的矯正自動化技術。此技術用於自動執行校正操作,例如陣列定位、重新定向和清潔。此校正過程經過優化,以確保不遺漏任何缺陷或無人看管。該模型還具有安全的通信接口，便於設備組件之間交換數據。這允許集成其他KLA系統,例如SEMVision TM套件和ALINX自動缺陷審查系統。TENCOR EV-300單元設計為提供最高級別的晶圓和掩模檢測性能,確保設備無缺陷並準備生產。這臺機器因此適合用於研究和工業生產環境。