二手 KLA / TENCOR FLX-5200 #9148242 待售

KLA/TENCOR FLX-5200是一種掩模和晶圓檢測設備,它提供先進的成像和數據分析功能,以確定微缺陷和其他類型的汙染物。它是一個有價值的工具，用於識別可能損害晶圓或掩模完整性的表面和地下層面的問題。KLA FLX-5200檢查系統的主要目的是檢測和表征樣品上的缺陷和汙染物,如已安裝的晶片、光掩模、掩模和標線。該設備專門用於檢查尺寸在25 nm至6 μ m之間的模式,使其成為各種微電子制造工藝的理想選擇。TENCOR FLX 5200利用高級成像和分析功能,在整個檢查過程中提供有意義的數據。通過三通和四通成像（包括白色、紫外線（UV）和光學節點的混合）,從設備的各個側面收集數據-從上向下、由內向外、橫向、向後等。然後以自動化的方式對這些數據進行分析和報告，提供被檢查物體的高效和準確的圖片。KLA/TENCOR FLX 5200還具有超高分辨率成像和增強的聚焦功能,允許用戶放大和檢查晶圓表面的微小細節。這是在納米級識別顆粒和其他汙染物的理想選擇。為了進一步加強檢查過程，機器包括自動對準和測量，說明表面和基板上的特征。該工具還配備了直觀的操作員界面和先進的成像技術。這種組合使得設置資產、捕獲數據和生成可操作的報告變得簡單。簡而言之,FLX-5200是一種尖端的掩模和晶片檢查模型,它提供高速成像、自動測量、直觀控制和增強的聚焦功能,以便對各種基材中的缺陷和汙染物進行可靠的檢測和表征。它是確保微電子制造的準確性和質量控制的寶貴工具。