二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9088894 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是一種掩模和晶圓檢測設備，用於檢測和表征半導體器件中存在的制造缺陷。這個強大的系統結合了先進的晶圓檢測技術和強大、萬無一失的軟件接口，確保了質量最高的半導體器件。KLA FLX-5400有一個可自定義的視場（FOV）,使用戶可以更改檢查區域的大小和設備的校準。這允許用戶根據自己的特定要求量身定制FOV，還提供了檢查非常小的缺陷或較大功能的靈活性。機器還能夠在整個檢查過程中改變視場，以防止視場異常導致誤報。TENCOR FLX 5400的核心是一個高功率的檢測子系統，它由四個先進的CCD傳感器組成，這些傳感器執行一種特殊的圖樣照明技術，稱為Moiré條紋投影。這種先進的技術用於檢測地形中的微小變化，而傳統的基於光學的方法是看不到的。TENCOR FLX-5400還利用這些先進的CCD傳感器自動對準晶片進行最佳特征檢測，並提供強大的邊緣檢測算法，讓用戶能夠檢測到細微的邊緣變化。該工具還具有一系列確保高精度缺陷檢測和圖像增強的功能。這些特點包括圖像重構技術，糾正非均勻照明，增加缺陷檢測能力的三維特征檢測算法，以及在測量缺陷時提供逼真分辨率的集成缺陷審查資產。此外,KLA FLX 5400還提供了用戶友好的軟件界面,減少了培訓和設備設置時間。直觀的圖形用戶界面（GUI）指導用戶完成設置過程,包括檢查參數設置、圖層分配和圖像調整。其強大的軟件套件還包括功能強大的FLX軟件工具，如自動缺陷分類、錯誤缺陷減少以及模式驗證工具。綜上所述，KLA/TENCOR FLX 5400是一款先進的掩模和晶圓檢測模型，結合了先進的基於光學的缺陷檢測技術和先進的檢測功能以及直觀的軟件界面，為用戶提供了維護最高質量半導體器件的強大工具。