二手 KLA / TENCOR FLX-5400 #9118978 待售

KLA/TENCOR FLX-5400是一種高性能的掩模和晶圓檢測設備，利用前沿檢測技術提供準確可靠的缺陷檢測和分類。該系統的設計既能適應大容量晶圓制造環境，又能適應掩模制造環境。KLA FLX-5400是由光學檢測模塊和散焦檢測模塊組成的雙場單元。光學模塊包含一個用於照明和光學圖像采集的超高速LED陣列，設計用於檢查特征圖樣。散焦檢測模塊利用先進的光學透鏡機檢測晶片結構中極小的缺陷。TENCOR FLX 5400設計為提供高通量-即使檢查了大量晶圓。該工具同時配備了高速掃描頭和高容量數據處理器，從而允許靈活高效的半導體制造工藝。資產能夠檢測到低至0.5微米（μ米）的缺陷。KLA/TENCOR FLX 5400帶有粒狀缺陷分類功能。此功能允許模型將檢測到的缺陷分組為多個類,以便於檢查後分析。此外,還對設備的軟件算法進行了調整,以提高缺陷報告的準確性。TENCOR FLX-5400允許自動化系統校準,並提供與網絡連接的遠程監視功能。這個單元還提供了一個綜合的整體機器分析工具，用於全面的晶圓分析和報告。在軟件方面,FLX 5400具有強大的高級分析工具,用於高級缺陷表征和計量。此外,用戶友好的軟件界面還通過觸摸屏操作、基於圖標的菜單結構和功能強大的後端數據庫等功能增強了用戶體驗。FLX-5400具有多語言用戶支持和全局訪問能力,是全球掩碼和晶圓檢查的絕佳選擇。此工具符合多個規範標準,包括SEMI標準,因此用戶可以信任其可靠性。總體而言,KLA FLX 5400是一種強大而精確的掩模和晶圓檢測資產,有助於確保半導體制造過程中的質量。KLA/TENCOR FLX-5400具有自動模型校準、缺陷分類和經濟高效的操作等強大功能,是晶圓和掩模檢測應用的絕佳選擇。