二手 KLA / TENCOR FRJ CHANGER ASSY #9292415 待售

KLA/TENCOR FRJ CHANGER ASSY是一種全自動掩模和晶圓檢測設備,旨在滿足高效生產高度復雜集成電路的最苛刻要求。該系統圍繞一個模塊化的雙臂機器人處理單元構建,該單元可實現多個工作流（一次只有一個作業）和一個由機器人控制的卡帶更換器,用於在過程模塊之間加載、卸載和更換口罩和晶片。這樣可以確保最小的延遲和高吞吐量,即使在密密麻麻的車間中也是如此。機器人使用的夾子設計方便，快速裝卸口罩和晶片。該機還配備了詳細的用戶界面，用於掩模-晶圓交叉引用、對準和檢查。直觀的工具界面旨在直觀地將任務導航到操作員。它還提供了整個資產布局、使用的設備和流程以及質量保證報告的詳細圖像。該模型還配備了綜合視覺設備，提供快速、準確的即時測量以及對掩模和晶片的檢查。這有助於降低流程風險並提高流程產量。底層流程自動化體系結構針對最嚴格的生產要求進行了優化,允許高精度和高度自動化的關鍵流程功能,如曝光、對齊和分類。該系統還支持潔凈室的特定功能，如KLA專有的轉運車概念晶圓轉移，這有助於減少過程中的汙染。TENCOR FRJ單元還提供集成的計量能力，允許高精度和可重復的過程控制測量。這有助於快速準確地微調工藝參數，以降低風險，提高產量。這臺機器非常可靠，易於維護，為操作員檢查口罩和晶片提供了一種安全高效的方法。KLA FRJ CHANGER ASSY的轉換時間短，配合其精確一致的操作，使得KLA FRJ CHANGER ASSY成為連續流生產口罩和晶片的理想解決方案。