二手 KLA / TENCOR INS 3000 / 3300 #9195887 待售

KLA/TENCOR INS 3000/3300是一種用於掩模和晶圓檢測的自動化設備,是高級性能和一致性的黃金標準。它結合了3 D全場成像子系統的強大能力和2D晶圓和缺陷成像的靈活性，提供了一個全面的檢測系統。KLA INS 3000/3300利用最新的高分辨率成像和檢查技術,在宏觀和微觀尺度上捕捉缺陷和晶圓地形的高分辨率圖像。這樣可以在檢查微電子元件和控制晶圓幾何形狀時獲得更高的精度和準確性。自動晶圓掃描還利用高速數控技術，確保精確測量和高吞吐量速率。3 D成像子系統捕獲晶圓地形和缺陷位置的精確3 D重建。這與KLA專有晶片對準單元相結合，在缺陷定位上達到亞微米精度。詳細檢查了該機的成像數據是否存在缺陷，並將其與庫參考標準進行了比較。這個工具允許顯微鏡級的缺陷在大晶圓區域的分辨率。2D缺陷成像資產能夠在納米級對缺陷及其相關特征進行高精度評估。此成像模型可實現無與倫比的分辨率和缺陷可見性,檢測級別遠低於10nm。TENCOR INS 3000/3300口罩和晶圓檢測設備是業界領先的系統之一。它提供各種成像和缺陷檢測功能,為客戶提供卓越的性能和準確性。它提供了最高質量的結果，並消除了昂貴的人工抽樣和檢查。它是很多行業研發和大批量生產的理想選擇。