二手 KLA / TENCOR INS 3000 #9358651 待售

KLA/TENCOR INS 3000是一種為半導體工業設計的掩模和晶圓檢測設備,用於快速分析和收集有關設備模式和其他需要審查的詳細特征的數據。該系統由四個主要子系統組成，包括光學檢測單元、圖像采集機、圖像和數據處理工具以及數據分析軟件包。光學檢測資產包括一組物鏡和一個雙波長激光二極管，用於檢測、分析和測量集成電路圖樣的頂面。紅外激光波長用於提高分辨率，可見波長提供芯片表面圖樣的精確成像。圖像采集模型獲取設備和圖樣的數字圖像，並以數字格式存儲。高分辨率成像設備設計用於高精度地捕獲和存儲圖樣的詳細圖像。圖像和數據處理系統用於分析已獲得的用於分析和處理的數據。該單元通常包括CPU、圖像和模式識別系統以及數字信號處理系統等硬件組件。軟件包包含特定於應用程序的軟件程序,用於高精度分析和顯示設備模式及其他詳細功能。它包括可根據特定要求定制的軟件。軟件包還提供數據分析和統計工具。KLA INS 3000為掩模和晶圓檢測提供了集成環境。其通用的設計和先進的技術為檢測和分析設備模式和數據提供了高速度和準確性。廣泛應用於半導體工業中，用於缺陷識別、器件表征、粒子檢測、配位測量、計量等廣泛應用。