二手 KLA / TENCOR / INSPEX TCP 8530M #136451 待售

KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530M是一種高端掩模和晶圓檢測設備,旨在最大限度地提高自動化檢測過程的準確性和性能。該系統由一套專有的軟件、硬件、光學和探測器組成。這是一個創新的檢測單元，可用於半導體電路掩碼或晶圓缺陷檢測。KLA TCP 8530M掩模/晶片檢測機采用四種光學刀具配置提供高精度檢測，旨在提高檢測結果的可靠性。四種資產配置包括兩模陣列、三模陣列、五模陣列和九模陣列。每種配置都利用一組高精度的目標、一個點圖樣和一個激光點照明器。此外，該型號還配備了4-CCD成像陣列和數據處理單元。TENCOR TCP 8530M利用先進的圖像處理算法來準確分析缺陷結構。這些算法能夠消除由於隨機噪聲可能產生的誤報，防止掩碼和晶圓圖像的任何不必要的重新工作。這種設備在半導體電路掩模工業中檢查可以包含多層電路的掩模時特別有用。TCP 8530M具有高速管線體系結構,使其能夠以最小的運動控制同時檢查多個視圖字段。該系統還能夠檢測劃痕、細線和其他難以識別的缺陷，使其適用於復雜的掩模和晶圓檢查過程。其他功能還包括高精度的入射角度視圖,以及操作員可調節的焦點,可改善定位和缺陷可見性。INSPEX TCP 8530M設計用於晶圓表征、優化和控制半導體制造工藝的層。這個單元也是芯片設計者的理想選擇，讓他們快速準確地分析自己的設計對象。此外，該機能夠對焊接缺陷進行快速、準確的診斷，確保產品無缺陷。這使得KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530M制造過程中必不可少的工具。