二手 KLA / TENCOR LWS 3000 CFI #293608931 待售

KLA/TENCOR LWS 3000 CFI是一種配備計算機的掩模和晶圓檢測設備，設計用於各種半導體生產工藝。該系統由一個主檢測工具、一個高速、高分辨率成像單元、一個高速成像和運動控制子系統、一個集成視覺子系統以及一系列顯示、分析和計量工具組成。KLA LWS 3000 CFI的主要功能是檢查不透明和透明物體如掩模、晶片和其他光掩模的精細和超細線分辨率圖像。該機具有測量和比較極小物體和特征的能力，具有亞微米精度。這樣可以實現極高級別的缺陷檢測、缺陷解決和吞吐量。高速成像工具采用多通道激光幹涉測量和多波長電探測相位、偏振和色差成像。這提供了特征高度、寬度、深度、傾斜和z web的實時3D、斷層掃描和幹涉測量。運動控制子系統提供跟蹤和校正微米級小運動的能力。這保證了優越的結果在困難的缺陷，如光飽和度和線橋差分。集成視覺子系統結合了數字成像和復雜算法，以確保缺陷定位精度和可靠的重復性。一系列專有軟件工具提供了多種功能,包括信號處理、自動檢查和分類、缺陷標記、地圖擴展、圖像搜索、後處理、度量和報告生成。這大大增強了TENCOR LWS 3000 CFI的成像和計量能力。LWS 3000 CFI是一種用於半導體生產過程的先進工具,它為小批量批量生產和大批量生產需求提供了卓越的效果。該資產非常適合於具有極高精度、缺陷分辨率和吞吐量的掩碼和晶圓檢查。