二手 KLA / TENCOR MPV-CD #9093155 待售
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KLA/TENCOR MPV-CD是一種為半導體生產行業設計的掩模和晶圓檢測設備。它被設計成一個模塊化的結構,由幾個子系統組成,所有這些子系統都設計成一起工作,以便提供一個半導體掩模和晶圓的檢查自動化系統。這些子系統包括自動化舞臺、成像單元、機器人裝載機和照相機。自動級負責便利晶片和掩模在成像系統上的移動。它基於精確和精確的設計,允許用戶輕松定位晶片或掩模以進行成像。這樣可以確保最終圖像清晰、高質量。成像工具由冷卻CCD陣列相機組成,提供晶圓或掩模的高分辨率圖像。此外,成像資產還配備了變焦鏡頭,可以在無需人工幹預的情況下調整圖像的大小和分辨率。機器人裝載機設計用於將晶圓或掩碼從一個模型移動到另一個模型。機器人裝載機能夠以受控速度移動晶片或掩模,非常適合傳輸多個晶片和掩模。此外,它還配備了傳感和計時器設備,可確保晶圓或掩碼正確加載並成功完成圖像傳輸。相機系統負責捕捉晶片或掩模的圖像,並將其轉移到成像單元。攝像機以最高的精度制造,確保捕捉到的圖像質量最高。此外,相機工具還配備了自動聚焦資產,可確保將圖像聚焦到成像模型上。一旦捕捉到圖像,就提交給圖像處理設備進行處理。圖像處理系統旨在檢測和測量各種特征,包括缺陷、汙染、異常甚至模具形狀等特征。最後,設備使用控制機器來確保每個子系統同步並高效運行。此控制工具允許無縫操作,使其能夠快速高效地完成任務。KLA MPV-CD是一項最先進的資產,旨在為半導體生產行業提供自動化解決方案。它配備了幾個子系統,可以對半導體掩模和晶圓進行高效檢查,為半導體生產設施提供了理想的解決方案。
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