二手 KLA / TENCOR P30 #293640029 待售

KLA/TENCOR P 30是一種頂級的掩模和晶片檢測設備,旨在提供靈活、精確的晶片和掩模板檢測。KLA P 30結合全自動晶片分級、晶片分割和掩模註冊，實現一流的檢測性能，使制造商能夠準確識別任意高度或寬度小至20納米的圖樣。在晶片檢測方面，TENCOR P 30配備了自動晶片分級箱（AWS）、晶片分割和晶片註冊，用於晶片與檢測系統的精確對準。AWS確保每個晶片都能準確定位並準備好進行檢查,而晶片分割允許對晶片進行快速分析,從而降低用戶的總體生產成本。晶片註冊實質上將晶片的特征映射到檢查單元，使其能夠準確識別特定特征。P30還具有業界領先的口罩檢測機（MIS）,旨在快速檢測高級口罩中的缺陷並跟蹤這些缺陷的大小和位置。這種健壯的MIS使用戶能夠使用多種模式和波長的光精確檢查空白和有圖案的掩碼。該工具支持多種照明技術來識別甚至最微妙的缺陷，如亮場、暗場、偏振和幹涉技術。KLA/TENCOR P 30還通過其「圖像合並分析」實現了即時處理,使用戶能夠快速地在圖像前後進行比較,而最短的額外等待時間。最後,KLA P 30的報告工具為晶圓和掩模檢查提供了高效的缺陷分析報告。特別是,自動測試報告生成器只需幾秒鐘即可生成可定制的報告,詳細說明所有適用的測試、樣本數據和結果。此外,還提供HTML和PDF格式的報告,以便於訪問和包含在其他文檔中。TENCOR P 30是一種功能強大的工具,能夠在單個軟件包中提供可靠的結果、快速的分析和全面的可追蹤性。無論檢查晶片還是掩模,P30都重新定義質量保證過程,並提供無與倫比的缺陷管理功能以確保準確性。