二手 KLA / TENCOR RS-200 #9157130 待售
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已售出
ID: 9157130
晶圓大小: 12"
優質的: 2016
Resistivity measurement system, 12"
2.8 GHz PC
Windows OS
Software Version: 4.30.01
GEM / SECS SECSII Interface
Auto loading
Floppy drive: 3.5"
H-Type probe head
(2) FOUP Position loading
220V AC, 50/60Hz, 20 A
2016 vintage.
KLA/TENCOR RS-200掩模和晶片檢測設備是一種精密、高精度的半導體制造工具,用於檢測缺陷並確保微芯片的質量。該系統結合了先進的光學和專有算法,精確測量和分析極小晶片和掩模上的小特征。該單元的主要部件包括掃描儀、成像機、光源以及連續和脈沖晶片讀取支持。掃描儀負責將顯微鏡臂引導至經過晶圓或掩模檢查的每個特征的精確坐標。成像工具使用高級算法處理掃描儀捕獲的原始圖像,以消除誤報並解釋數據。最後,光源確保晶片和掩模的照明正確.這對於查看否則很難看到的更精細的特征特別重要。KLA RS-200還具有強大但易於使用的界面,可控制檢查參數,如掃描速度、行業標準、缺陷參數、缺陷大小、噪聲級別等。這樣,操作員就可以輕松定制資產以滿足其特定需求,從而能夠在最短的停機時間內快速檢查不同的晶圓和掩碼。TENCOR RS-200在檢測缺陷、測量間隙和檢查關鍵尺寸方面擁有目前市場上可用的最高分辨率。它可以檢測到4nm以下的微小缺陷,從而確保生產的最高質量。該模型還提供了廣泛的景深,覆蓋了單個圖像的大視覺區域,以及高水平的自動化,讓用戶一口氣檢查幾十個晶圓和蒙版。總體而言,RS-200是掃描和分析晶片和掩模的高精度和精確度的絕佳工具。憑借先進的光學技術、復雜的算法和易於使用的界面,它為制造商提供了一種高效、可靠且經濟高效的微芯片檢測解決方案。
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