二手 KLA / TENCOR SCD-XT #293766657 待售

KLA/TENCOR SCD-XT是一款最先進的高功率Mask and Wafer Inspection設備,旨在最大限度地提高吞吐量,同時提供最高質量的檢驗結果。該系統由先進的光束傳遞單元、光學組件和傳感器頭組成，它們都是為卓越的成像而設計的。KLA SCD-XT利用先進的掃描電子束,該電子束采用可變形鏡（DM）技術進行引導,使具有尖銳光斑大小的高級像素放置能夠提供極高的分辨率檢查。這項技術與先進的光學探針和位置感應探測器（PSD）相結合，提供了精確和高效的圖像捕獲。在TENCOR SCD-XT上使用的先進光束輸送機確保了高劑量率，從而在控制電子束劑量的同時實現了更高的通量，以最大限度地提高細節增強對比度和最小化叠加。該工具還利用宏觀可變聚焦光學器件,能夠從各種工藝級別和所有工藝層進行成像。這種先進的成像技術提供電路層厚度測量、叠加參數測量和工藝層檢查，以檢查潛在的關註領域。利用高分辨率微變量光學器件進一步增強了光學組件，用於特征邊緣檢測和橫截面成像，以準確檢測和量化制造過程變化所產生的特征屬性差異。該資產還包括一個功能強大的傳感器頭,具有用於數據收集的高級虛擬對齊技術。這種先進的技術允許無與倫比的精度和可重復性在廣泛的檢查角度。SCD-XT可用的軟件還提供用戶友好的操作和直觀的圖形用戶界面。KLA/TENCOR SCD-XT是一系列半導體制造工藝中掩模和晶圓檢測應用的理想選擇。KLA SCD-XT通過將先進的成像技術與簡單的操作模型相結合，提高了產量利潤，同時提供了卓越的質量檢測結果。