二手 KLA / TENCOR SCD-XT #9220981 待售

KLA/TENCOR SCD-XT是利用成像和計量技術分析半導體材料的掩模和晶圓檢測設備。該系統旨在通過提供有關接觸寬度、尺寸和叠加精度等幾何形狀的準確和可重復的測量數據,增強過程控制並縮短周期時間。KLA SCD-XT是一個先進的檢驗單位，利用成像和計量技術相結合，提供高精度的結果。機器的核心是提供樣品表面高分辨率圖像的場發射掃描電子顯微鏡（FE-SEM）。此圖像隨後由計量軟件進行分析,該軟件使用多種算法來計算幾何值,例如接觸寬度和通過大小。該工具還提供了一系列成像選項，如激光幹涉測量和彩色共聚焦顯微鏡，可進一步了解結構/表面特性。TENCOR SCD-XT還提供了一系列自動測量工具,以便在測量幾何形狀時獲得更高的精度。這些工具包括啟用圖像的縫合和掩碼對齊、盲擬合叠加算法和過程屈服分析,以最大程度地減少錯誤缺陷並優化屈服。此功能使用戶能夠快速準確地識別和解決流程問題,從而提高設備性能並縮短周期。SCD-XT還提供直觀且用戶友好的操作員界面。該資產提供了幾種用戶友好的功能,例如高級圖像分析功能、自動化和優化,以及大量標準配方庫。此外,該模型完全可定制,並提供各種插件選項,以擴展設備性能和分析功能,使其成為滿足所有檢查需求的理想解決方案。總之，KLA/TENCOR SCD-XT是一種結合最新成像和計量技術，提供可靠和可重復結果的專門檢測系統。它提供高精度的測量、自動化的測量工具、直觀的用戶界面和一系列自定義選項。這使得KLA SCD-XT成為尋找可靠、準確和經濟高效的檢測單元的任何用戶的理想選擇。