二手 KLA / TENCOR SCD-XT #9228108 待售

KLA/TENCOR SCD-XT是一種掩模和晶片檢測設備，設計用於精確可靠地檢測直徑達450mm的光掩模和晶片。該系統利用明亮光源和暗光源的組合，以及基於圖樣的照明來精確檢測小至十分之一微米的缺陷。設備可以檢測邊緣放置錯誤、線寬和形狀缺陷,以及蒙版和晶片上的各種其他缺陷類型。它能夠同時檢測多達八種不同類型的缺陷。KLA SCD-XT機由一個檢查頭組成，提供光場照明和基於圖樣的照明，以及一系列光學元件和信號處理電子設備。該工具有一個高分辨率CCD攝像機，它捕獲遮罩或晶片上的層和圖樣的光信號。然後將攝像機連接到圖像處理單元,該單元處理信號以檢測缺陷。檢查數據存儲在內部數據庫中，用戶可以通過觸摸按鈕來回憶存儲的檢查數據。TENCOR SCD-XT資產包括一整套軟件,從基本的Inspector Suites到強大的Vision Studio Suites,用戶可以檢查工廠中任何型號的圖像。SCD-XT具有許多功能,允許用戶定制設備以滿足其特定應用程序的需求。該系統采用花崗巖穩定結構技術，提供無震檢測。這樣,即使在生產環境中,用戶也可以執行高精度檢查。該單元還提供各種空間過濾技術，允許用戶實時分析圖像數據，以及為擴展功能增加一個額外的探測器頭的選項。KLA/TENCOR SCD-XT機設計可靠易用。直觀的軟件界面使用戶能夠輕松地快速導航和設置檢查。該工具還具有高度可定制性,允許用戶根據自己的特定需求自定義資產,甚至添加其他組件以增加模型的功能。總體而言,KLA SCD-XT是一種可靠而強大的設備,可以精確檢查直徑不超過450mm的光掩模和晶片。該系統利用亮場照明、基於圖樣的照明以及許多其他特征來精確檢測小至十分之一微米的缺陷。該單元還具有高度可定制和直觀的使用能力,使用戶能夠快速輕松地設置檢查和召回存儲的數據。