二手 KLA / TENCOR SL3 #293824682 待售

KLA/TENCOR SL3是一種先進的掩模和晶圓檢驗設備,旨在使工藝工程師、設備供應商和無晶圓廠半導體制造業務能夠提高產量和產品質量。該系統設計用於在光刻和蝕刻的關鍵過程步驟中檢查晶片。它具有幾個關鍵組件,例如高分辨率CCD攝像頭、可調壓力級、電動Z級、自動對準單元和光源。高分辨率CCD相機可以讓用戶同時查看晶片的兩側，給出一張表面向下4微米的完整掃描圖片。可調節的壓力級可以準確地維持可靠成像所需的壓縮，允許準確和可重復的結果。電動Z級提供精確和自動化的晶片處理,允許在人工幹預最少的情況下進行檢查。自動對齊機確保最佳對焦和對準，照明工具確保準確的顏色保真度。KLA SL3結合了多種工具和功能,使用戶能夠快速準確地檢測多級流程集成中的特征大小和缺陷位置。該資產允許用戶即時定制檢查標準和評估晶圓特性，以改善過程控制。TENCOR SL3是一種先進的晶圓檢測模型,旨在最大程度地提高生產效率、精度和產量.它結合了卓越的成像功能、自動對準和高級功能,為半導體制造提供了易於使用的平臺。這使得對晶片進行高速、可靠和準確的高分辨率檢查,而對操作員的關註卻很少,從而使用戶能夠提高其工藝控制和產量。