二手 KLA / TENCOR SL3 #293829418 待售

KLA/TENCOR Starlight SL3是一種先進的掩模和晶圓檢測設備，設計用於半導體制造操作。它提供高分辨率成像,以識別掩模表面以及晶片表面本身的缺陷和汙染。該系統還提供高級成像和分析工具,以快速查找和識別缺陷。KLA Starlight SL3具有高性能的光學單元，具有先進的波長選擇和更高的數值孔徑，以確保更好的圖像質量。這包括一個雙軸掃描儀,它以兩個角度掃描和成像掩模表面,以便更準確地檢測缺陷。機器還包括幾種先進的成像技術，如點掃描、線掃描和全景取景，確保晶圓和掩模表面以盡可能高的放大倍數精確檢查。TENCOR Starlight SL3具有復雜的圖像分析工具,用於檢測、分類和測量蒙版和晶圓表面上存在的缺陷。這包括自適應缺陷檢測資產（Adaptive Defect Detection Asset，ADDS），它可以「學習」識別蒙版和晶圓表面中可能不易被人類識別的缺陷。缺陷審查和分析模塊（DRAM）允許對缺陷和汙染物進行詳細分析,提供有關其位置、缺陷類型、大小、形狀和幅度的實時反饋。該模型還提供了自動缺陷分類，以盡量減少手動檢查的需要。星光SL3提供檢查員友好的操作和強大的操作員界面。它包括幾個軟件包來幫助操作員設置、配置和控制設備。其中包括掩碼編輯器軟件、PC檢查軟件和Win工具箱軟件。該系統還可以與其他半導體制造設備和數據庫集成，提供生產過程的綜合視圖。KLA/TENCOR Starlight SL3設計用於可靠、準確的操作,占用空間較小。其低的擁有成本和最低的維護要求使其成為許多半導體制造操作的理想選擇。該裝置旨在為制造商提供從其臨界掩模和晶圓表面快速準確的缺陷檢測。