二手 KLA / TENCOR SL301 #9251376 待售

KLA/TENCOR SL301是一種用於半導體生產的最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統的功能為工程師和技術人員提供了全面的計量能力,以確保過程控制和質量保證。KLA SL301包括一個200毫米/300毫米檢測室，容納矽片、復合半導體晶片、IC封裝和先進的MEMS結構等基材。該單元提供了許多成像選項,包括CCD、光刻膠和低K和高K介電測量。TENCOR SL301機器運行專有軟件以方便實時缺陷檢測,並為用戶提供多種工具來重建缺陷的3D形狀以評估表面質量。檢查的各個階段包括通過機器人手臂手動裝載基板、特征測量和缺陷檢查。此外，該工具還配備了各種自動化設備，如條形碼閱讀器和燈陷阱，以防止基板損壞或汙染。SL301配備了自動聚焦控制（AFC）功能,可確保在掃描過程中正確聚焦。它還具有改進的光學設計,可確保關鍵缺陷分辨率。KLA/TENCOR SL301資產還利用了一種高分辨率的遠心透鏡，它能夠檢查復雜結構上的各種特征，而無需標線。此外,它還與各種成像工具兼容,例如MEMS靜電卡盤,以提高性能。該型號帶有直觀的用戶友好型GUI,允許用戶快速高效地監視、配置和分析設備。它還具有一系列可以根據用戶的特定需求進行個性化的測量模式。此外,系統還具有多個故障保險箱,可保護設備和操作員免受任何潛在傷害。總體而言,KLA SL301是任何生產環境下理想的掩模和晶圓檢測裝置.它提供了一整套成像、缺陷檢測和過程控制功能,為工程師和技術人員提供精確的缺陷解決和改進的過程控制功能。最後，它直觀的用戶界面使得機器易於使用的所有技能水平的操作員。