二手 KLA / TENCOR SL303UV #293751660 待售

KLA/TENCOR SL303UV是為生產環境設計的掩模和晶圓檢測設備。它配備了先進的成像技術和廣泛的自動化功能,使組織能夠識別生產缺陷、控制過程變化和提高產品質量。該系統采用專有的反射掃描幹涉測量和一套管理光學器件,以無與倫比的精度和速度對生產部件進行高分辨率、無損檢查。KLA SL303UV可在厚度高達20mm的掩模和基板上實現3D計量,即使在有圖案的表面上也能進行輪廓測量。該單元與流行的光刻系統無縫集成，提供高圖像采集速率，允許快速數據分析，以便快速識別和校正缺陷。TENCOR SL303UV利用一臺捕獲高分辨率圖像的視頻顯微鏡成像機，並配備了非接觸面輪廓法、圖像縫合、邊緣檢測、特征提取等先進成像技術。此外,該工具還提供了多種自動化功能,可減少操作員的錯誤和疲勞,使團隊能夠快速準確地檢查生產零件。資產還配備了多種數據管理和報告能力。團隊可以使用SL 303UV的智能軟件來跟蹤產品的生產歷史，分析根本原因數據，並獲得對過程變化和趨勢的可行洞察。KLA/TENCOR SL303UV為生產環境中的掩模和晶片檢測提供了一種通用的解決方案。它使團隊能夠快速識別缺陷並深入了解過程性能,從而幫助他們確保產品質量和可靠性。