二手 KLA / TENCOR SL515 #9032013 待售
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ID: 9032013
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Mask inspection system, 12"
2 LP, 1 CHM, 1 ARM/1 LP, 1 CHM , 1 Laser
(1) Loadport (Asyst)
Loadports carrier reader: RFID type
Robot: KLA design
Light source: Coherent laser, FRED, ASSY, HP 257nm (SHG of 514nm by the BBO crystal)
Function: Inspection mask surface's haze
Components:
Power condition (for UIC)
UM
Power condition (for UM)
RLS
UIC
Operation con
Operation con (SunBlade 2000)
IAS
KLA 95i
Operation con (printer)
Parts missing:
FRU, MODULE BEAM STAB, 5XX
FRU, MODULE DIFFUSER, 5XX
2007 vintage.
KLA/TENCOR SL515是一種用於半導體制造過程的掩模和晶圓檢測設備。該系統利用高分辨率成像和計量來檢查每個掩模和晶圓到納米尺度。KLA SL515的采集速度快,縮短了檢測時間,提高了產品質量.KLA SL515high-resolution成像是通過與20英寸顯示屏結合使用的數字LED光源完成的。顯示屏提供了掩模和晶片的清晰視圖，並允許容易識別缺陷。該單元還設有一個綜合計量機，用於測量缺陷的大小、形狀和分布。然後將這些數據存儲在數據庫中,以便以後進行分析和比較。該工具還具有自動缺陷檢測和分類算法,可以快速準確地識別缺陷。此功能消除了人工檢查,從而節省了時間和金錢。資產還可以確定可能導致成本高昂的返工和生產延誤的過程控制問題。TENCOR SL 515是掩模和晶片檢測的理想解決方案，它提供了快速、可靠的數據和出色的分辨率。該模型滿足了半導體制造工藝的嚴格要求，確保交付給客戶的產品質量最高。自動缺陷檢測和分類算法還可以消除昂貴的手動檢查,從而節省時間和金錢。
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