二手 KLA / TENCOR SL515 #9197021 待售

KLA/TENCOR SL515面膜晶片檢測設備是一種高通量缺陷檢測系統，可處理多種基材。它可以有效檢測各種半導體過程中的微小缺陷，如光掩模、晶片、掩模毛坯、沈積膜和發達的抗蝕線。該單元具有200毫米至300毫米的視野，並使用三種成像技術，包括高分辨率光學、熒光和X射線成像。KLA SL515利用了亮場和斜光，改善了缺陷檢測。其開發模式提供了一種用於識別圖樣邊緣以及用於掩碼對齊和焦點控制的邊緣檢測功能。該機器包括參數化和非參數化分析工具,用於驗證從所檢查的掩碼和晶片收集的數據。它還提供報告和數據存儲功能,以確保工具與其他工程和生產站點之間安全地通信質量數據。資產在通常需要其他類似規模的系統的一小部分時間內提供準確的結果。它可以檢測和測量小至20納米的缺陷，識別在350納米範圍內看到的特征，超過了為生產設定的標準。它包括缺陷分類、關聯跟蹤、缺陷識別、跨多個晶圓的缺陷跟蹤、仔細的特征匹配算法以及與3rdparty軟件系統集成的工具。該模型的核心是獲得專利的圖像優化技術，用於確定每項檢查任務的最佳設備參數。這使系統能夠通過識別對檢查過程最重要的特征來準確檢測和分類缺陷和特征。然後,設備的復雜算法利用這些信息優化圖像采集設置,以最大限度地提高機器的缺陷和特征差異化能力。此外,TENCOR SL 515通過其現有API和接口的綜合庫,易於與現有基礎架構、軟件和過程控制工具集成。該工具具有快速的響應時間,並確保嚴格的過程控制,使其成為大容量半導體制造的理想選擇。KLA/TENCOR SL 515 Mask&Wafer Inspection Asset是一種可靠而強大的保護和晶片級缺陷檢測解決方案。