二手 KLA / TENCOR SP 200 #293608654 待售
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KLA/TENCOR SP 200掩模和晶片檢測設備是一種多用途、高度自動化的系統，設計用於檢測集成電路（IC）掩模和晶片中的缺陷。該單元用於從基本晶片掃描、審查到缺陷分析等不同級別的掩模和晶片的檢查、審查和分類。KLA SP 200機器利用可定制的軟件平臺,可根據每個應用程序的特定需求進行定制。該工具具有獨特的高分辨率成像能力，能夠檢測到小至5納米的缺陷。它還包括雙光束激光器、高精度圖像處理和非接觸式掃描頭，用於精確的掩模對準和精確、可靠地檢測超出公差的芯片。該資產可用於多種應用，包括模模比較檢查和模晶圓比較檢查；尋找扭結和橋接線；估計芯片缺陷、泄漏和短路的產量和診斷。該模型可用於改進過程控制和提高吞吐量。該設備具有集成的支持軟件和硬件組件。軟件包括數據采集和缺陷審查。它可以檢測到一系列缺陷，包括錯位、傾斜效應、橋接、捏、短褲、錯形基準、錯位基準、缺失元素、隨機缺陷、芯片損壞以及掩模或晶圓配準或模具尺寸不均勻。它還包括用於產品規格的數據庫訪問、各種自動編程和模擬工具以及用於統計分析的軟件。系統架構還包括自動重做和數據分析能力。硬件組件由晶圓/掩模專用機械化掃描儀中的雙束激光器組成。這樣可以快速、準確地對準和掃描掩模和晶片。TENCOR SP 200單元還提供了多種提高機器性能的工具，包括圖像處理和特征增強工具，以及模式識別工具、彩色圖像評估和模板匹配的高級算法。SP 200資產具有高性能成像和可靠的缺陷檢測功能,物有所值,是口罩和晶片檢測和缺陷分析的絕佳選擇。
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