二手 KLA / TENCOR SP1 Classic #169068 待售

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ID: 169068
晶圓大小: 8" - 12"
優質的: 1998
Wafer surface analysis system, 8" and 12" Specifications: Wafer size: 8" open cassette and 12" FOUP configuration Provides sensitivity, repeatability, surface quality measurements and throughput capabilities required for 0.18µm technologies 0.08um Defect Sensitivity on Well-Polished Silicon 95% Capture Defect Map & Histogram with Zoom Micro View Measurement Capability Up to 150 Wafers Per Hour throughput on 200mm Wafers Illumination Source: 30 mW Argon-Ion Laser, 488nm Wavelength Version 3.8 Software Operator Interface: MS Windows NT 4.0 OS TFT Flat Panel Display Parallel Printer Port Operations Manual for KLA SP1 Classic 1998 vintage.
KLA/TENCOR SP1 Classic是一種全自動的掩模和晶圓檢測設備,旨在提供更高的吞吐量、更高的產量和改進的缺陷檢測。該系統具有先進的探測器、光學和復雜的算法,使其能夠實現高性能。每個單元都配有紅外照相機和帶有變焦鏡頭的LED光源等配件,可配置不同規格。KLA SP1 Classic包括具有集成四層彩色濾鏡的高分辨率CCD傳感器。這使機器能夠檢測垂直和水平缺陷,並以極高的精度識別缺陷的確切位置。它還具有高速自動對焦工具,使資產能夠檢測到甚至與所需模式或規格有絲毫偏差。TENCOR SP 1 CLASSIC有幾種不同的用戶模式,包括手動模式和交互模式,讓用戶能夠分析和檢查各種類型的缺陷類型。該模型還帶有預定義的分析例程庫,包括高質量的缺陷檢測例程,可用於快速評估和分析掩模缺陷晶片。SP1 Classic設計用於在無灰塵的環境中運行,並具有很小的占地空間,使其能夠容納在狹窄的空間中。它配備了內置的熱聚焦設備(TFS),可以讓系統自動調整焦點,保持圖像質量一致。該單元還包括一個增強型成像機(EIS),顯著提高圖像的分辨率和準確性。該工具高效可靠,每晶圓成本低,停機時間短。自動缺陷審閱過程允許用戶快速審閱和拒絕蒙版缺陷,從而確保沒有一個缺陷進入制造線。KLA/TENCOR SP 1 CLASSIC還提供了全面的追蹤性,允許用戶跟蹤晶圓和掩碼數據,以提供所執行測試和檢測到的缺陷的詳細記錄。總體而言,KLA SP 1 CLASSIC是一種出色的掩模和晶圓檢驗資產,可用於幫助提高生產環境中的產量和質量。利用先進的探測器和光學、復雜的算法和自動化過程,該模型為晶圓測試和檢驗提供了一個經濟高效和可靠的解決方案。
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