二手 KLA / TENCOR SP1 Classic #9229734 待售

KLA/TENCOR SP1經典蒙版和晶圓檢測設備是一種先進的、基於非接觸式光學模式識別的檢測系統,用於芯片布局、光刻蒙版、印刷電路板（PCB）和集成電路（IC）制造的光掩碼檢測等多種2D設備。它旨在檢測從小電路到大芯片陣列的結構缺陷。KLA SP1 Classic提供高速、準確的模式識別，允許用戶快速識別掩碼或晶圓中的缺陷和異常。它提供高分辨率成像,最大特征分辨率為0.3 μ m,使其能夠檢測小缺陷。此外,高性能數據存儲單元可確保快速高效地檢索數據。該機由先進的光學成像顯微鏡、分束器、校準激光和激光二極管、線性線性二極管陣列檢測器和數字圖像處理計算機組成，用於掩模和晶片的檢測。顯微鏡配備了12英寸方形、高分辨率的CCD相機。這會產生掩模或晶片的圖像,然後將其投影到分束器上。然後將兩個分割光束聚焦並由一組主動穩定的反射鏡引導。這會產生幹涉模式，由線性二極管陣列檢測器捕獲並傳輸到數字圖像處理計算機。數字圖像處理計算機隨後處理幹涉圖樣以識別掩碼或晶片中的缺陷。除了面罩和晶圓檢查外，該工具還可以用於標線采集。標線采集模塊有助於確保掩模和晶片都被精確測量和檢查，以獲得最準確的結果。使用TENCOR SP 1 CLASSIC蒙版和晶片檢驗資產，用戶可以快速準確地檢查蒙版和晶片的缺陷，顯著降低制造成本。它具有高分辨率的成像和快速的數據檢索功能,因此非常適合各種應用。