二手 KLA / TENCOR SP1 Classic #9262584 待售

KLA/TENCOR SP1 Classic mask and wafer inspection equipment is a high-performance integrated system which provides suppired pattern and defect processions for advanced semicontor and lithech processes.它旨在滿足半導體行業的具體需求，為掩模和晶片提供精確可靠的多種參數檢測，包括臨界尺寸（CD）測量、叠加定位和缺陷檢測。KLA SP1 Classic采用KLA獨特的QuadraVista™圖像處理技術,利用專利算法在缺陷檢測中提供超高精度和分辨率。QuadraVista提供卓越的圖像對比度和降噪功能,確保在檢測缺陷時具有出色的靈敏度和可靠性。憑借復雜的自動化和易用性,TENCOR SP 1 CLASSIC旨在減少數據處理時間和手動操作員交互。SP1 Classic配備了高分辨率線性視場（FOV）檢測器，並利用雙通聚焦技術精確測量光學特性和叠加性能。缺陷檢查可以多種模式進行，包括空中散焦、孔徑散焦和基於圖像的檢查。該單元還具有自動缺陷分類算法，能夠準確快速地識別細微缺陷特征，如局部邊緣和直線度。TENCOR SP1 Classic旨在促進關鍵尺寸（CD）的快速自動校準和測量。利用高精度級和基於激光的散射測量技術，它能夠測量公差小至0.2微米的CD。該機器還具有自動化控制和錯誤監視功能,允許高效且無錯誤的刀具操作。KLA SP 1 CLASSIC由Linux™的操作資產和Intel®處理器提供支持,提供可靠高效的操作。它的模塊化架構設計使其具有高度的可升級性，使其能夠跟上半導體行業不斷變化的需求。此外,該型號還提供多種選項,包括高級DUV照明源、多頭檢查功能和全局級配置。SP 1 CLASSIC是先進半導體計量應用的絕佳選擇。它提供卓越的圖像處理能力、高精度分析和快速晶圓檢查,非常適合高速生產和計量應用。