二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9012561 待售
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已售出
ID: 9012561
優質的: 2006
Particle measurement
(4) Components:
Robot handler and loadport unit
Inspection chamber unit
Operator user interface
Blower
Stored in (3) Crates:
1st crate - Robot handler and loadports
2nd crate - Inspection chamber unit
3rd crate - Blower and misc. parts/cable/cover/brackets
Deinstalled Q4 2012
Laser has low power errors
Small crack in loadport advance plate cover
Currently in storage
2006 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS是一種用於半導體加工的掩模和晶圓檢測設備。它是一個全自動系統,利用先進的光學和圖像處理算法,精確檢查微芯片和基板上的高精度圖樣,以便檢測小缺陷。KLA SP1 DLS采用掃描電子顯微鏡(SEM)和聚焦離子束(FIB)成像技術,可提供最大性能和最大收率。該設備能夠以幾納米的分辨率檢測和分類缺陷,從而使組件制造商能夠減少或消除昂貴的手動檢查。TENCOR SP 1-DLS配備了最先進的自動對焦功能,能夠實時調整以獲得最佳視角。此外,該機器還提供了多種對比度和亮度調整工具,以提高數據準確性。TENCOR SP1-DLS設計為完全集成到制造過程中,提供快速可靠的檢測過程。該工具能夠通過一次掃描同時檢查多個芯片,從而提高吞吐量和縮短周期時間。此外,資產還提供高級缺陷分析和報告功能,以便在發現缺陷時能夠更快地采取糾正措施。為確保最高質量控制,KLA/TENCOR SP 1-DLS配備了現代化的數據管理和通信能力。該模型可輕松配置為提供實時過程控制和對生產線的反饋。它還可以與常見的制造數據庫集成,甚至可以與不同類型的統計過程控制系統鏈接,以優化產量,降低產品故障率。總體而言,TENCOR SP 1 DLS是一種先進的掩碼和晶圓檢測設備,在易於集成的自動化系統中提供卓越的準確性、吞吐量和數據準確性。其尖端的特性和集成能力使其適合各種半導體加工應用,並幫助元件制造商實現更好的生產產量和成本節約。
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