二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9016572 待售
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ID: 9016572
Particle inspector
Supply connections: 200-240 VAC, 4 wire (3W+PE)
Input current: 30 A, 3 phase, 50/60 Hz
Main breaker rating: 40 A, 14k AIC @ 480 V
Largest load: 26 A (laser)
2002 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,旨在檢查多個過程步驟和專業的缺陷。它采用最新的先進成像和檢查技術,快速準確地檢測和識別各種類型的缺陷。KLA SP1 DLS系統是生產環境和實驗室環境中口罩和晶片檢驗的行業標準,被世界上許多最大的芯片制造商和鑄造廠使用。這種自動化裝置能夠在單個平臺上檢查各種掩碼和晶片,而無需更改工具或設置。它有一個模塊化的檢查區域,可針對頂部、底部或查看之間的情況進行定制,並實現高達2.5 μ m ~的圖像分辨率。TENCOR SP 1-DLS采用了前沿檢測算法和自適應光學技術,旨在適應不同的產品類型,識別多種缺陷,包括模式移位、線緣粗糙度、圖像對比度等缺陷。此外,該機器還支持使用可視化工具(如假彩色3D叠加、輪廓分析和橫截面圖形顯示)進行全面的產品分析。使用該軟件,用戶可以在同一數據集的多個產品或過程中查看缺陷結果,以確定趨勢並產生影響。該工具具有高精度的視覺輔助校準功能,可根據需要對攝像機進行實時調整,從而確保隨著時間的推移實現準確的重復性。此外,KLA SEMVision自動化機器學習工具包還通過提供業界領先的分類準確性和更快的培訓時間,進一步簡化了缺陷特性。集成的報告資產有助於輕松跟蹤缺陷信息和模型在不同產品上的性能。總體而言,SP 1-DLS設備是可靠、精確的掩模和晶圓檢測的理想選擇.它旨在幫助保持最高水平的掩模和晶片質量,同時降低檢查成本。它使用戶能夠準確識別各種缺陷,從而在整個過程中實現更好的過程控制和可見性。
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