二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9181648 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一種先進的掩模和晶圓檢測設備，為過程控制應用提供高質量的結果。它是一個全自動、高精度的機器人系統，能夠對半導體晶片進行經濟高效的分析，以便進行缺陷檢測。該裝置專為可控性和易用性而設計，是晶圓檢驗實驗室和負責晶圓分析的工藝工程師的理想選擇。「KLA SP1 DLS」代表「掃描探針1-缺陷定位機」,由以下組件組成：SP1掃描探針-配備壓電掃描儀,SP1掃描探針在超高分辨率顯微鏡下移動晶片以檢查缺陷。其最大樣品移動速度為5毫米/秒，能夠檢測到小至0.6 μ米的小缺陷。紅外（IR）探測器-紅外（IR）探測器用於快速檢測晶圓表面的缺陷.它能夠結合紅外反射率、對比度成像、邊緣檢測和顏色分層等多種檢測技術。帶電耦合器件（CCD）攝像機-高分辨率CCD攝像機可以使用6英寸範圍拍攝高清晰度的缺陷圖像。該相機能夠提供準確的圖像和對缺陷的詳細分析。激光工具-激光設備用於檢查晶片背面,以測量顯微鏡下無法看到的任何缺陷的存在。它使用先進的激光檢測和分析算法來檢測和測量微小的缺陷。圖像捕獲模型-圖像捕獲設備用於存儲和分析CCD相機捕獲的高分辨率圖像。圖像可以用軟件進行進一步分析，結果可以用來評估和優化整個制造過程。TENCOR SP 1-DLS系統是為高效、可靠和可重復的晶片檢測結果而設計的.它配備了先進的光機、電子和軟件技術，以最大限度地提高質量和產量。該單元旨在滿足半導體行業的嚴格需求，並通過認證達到國際標準。TENCOR SP1 DLS機非常適合不可知論、半導體檢測、工藝控制等應用。