二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9214561 待售
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KLA/TENCOR SP1-DLS是一種掩模和晶圓檢測設備,專為業界領先的缺陷檢測和高分辨率成像而設計。該系統提供無與倫比的高精度成像,可最大程度地覆蓋缺陷,有助於有效管理生產和制造成本。此外,該設備的缺陷檢測是其先進的CMOS傳感器、12位A/D轉換和3.4 μ m分辨率最靈敏、分辨率最高的設備,比傳統檢測技術高出近500倍。該機包括集成、高速圖像處理、晶片級掃描以及實時結果進行評估和報告。它具有零波束擾動成像技術,有助於檢測和評估子分辨率模式。該工具還集成了高級分析工具,如圖像二值化、像素值分析和分類。此外,KLA SP1 DLS還采用高精度圖像縫合技術進行缺陷審查和打印。TENCOR SP 1-DLS還設計用於減少停機時間和提高效率。該資產具有專利的「Go@@-To@@-Slice@@-Mode」功能,允許用戶快速選擇要檢查的晶圓。這樣可以提高吞吐量並減少浪費,從而顯著節省成本。該模型的高速、低噪聲分析能力使其比傳統工具更高效。最後,SP1-DLS為業界最精確的檢測提供了一套功能強大的自動檢測算法。這些算法旨在檢測小的關鍵特征缺陷、常規模式差異和其他異常。此外,該設備還具有方便用戶的圖形界面,用戶可以查看各種統計信息並監測系統的性能。KLA SP 1-DLS掩模和晶片檢測儀非常適合產生最可靠和準確的成像結果,並最大程度地覆蓋缺陷。其行業領先的特點,如零光束擾動成像技術、高分辨率成像、集成圖像處理、自動檢測算法,使其成為高精度檢測的理想選擇。該機器還通過快速的切片模式功能來減少停機時間,從而節省成本並提高吞吐量。
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