二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9215544 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一種掩模和晶片檢測設備，設計用於對半導體晶片和掩模中的缺陷進行快速可靠的檢測和分析。該系統建立在KLA前沿、經過驗證的成像技術之上,以確保最高的準確性和可靠性。這種自動化裝置專為要求苛刻、體積大的環境下的高產生產而設計，適用於半導體制造設施、集成電路、電子材料工藝開發和在線分頻計量學。KLA SP1 DLS使用高分辨率CCD相機光學器件來產生晶圓表面和掩模的高分辨率全畫幅圖像,然後將預期內容的圖樣叠加到獲取的圖像上。這樣就可以更準確、更可靠地確定和描述缺陷。詳細的圖像可以通過背光和/或側光技術得到進一步增強，並且提供比傳統攝影方法更高的成像保真度。該機加載了多種用於缺陷分類和辨別的高級算法,例如Rayleigh-Solomon和/或帶有高級圖像處理的參數輪廓（PCAIP）。它還采用了一些缺陷類型和模式與預期輪廓進行比較。這種算法和技術的結合可以提高缺陷檢測的靈敏度和準確性，進而可以改進過程控制和開發預測過程模型。TENCOR SP 1-DLS是一個獨立的工具,需要最少的安裝或設置。簡單地將樣品放入淺掃描室中，資產將負責休息，配有觸摸屏液晶顯示屏方便操作，並提供一系列用於數據采集、分析和缺陷確定的軟件選項。高達150 mmx 100 mm的大掃描面積一次最多可容納5個晶圓，幀速率可從每秒40到200幀調節。KLA SP1-DLS旨在通過提供更高的吞吐量、更快的缺陷識別和表征以及與半導體行業中的各種其他產品的兼容性來提高吞吐量和降低成本。它還降低了最終產品中出現中斷錯誤和故障的風險。此外,KLA/TENCOR SP1 DLS易於使用,具有直觀和用戶友好的操作,並提供了全面的文檔,從而縮短了登機時間並減少了學習曲線。