二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9221448 待售
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已售出
ID: 9221448
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
System, 12"
Process: Contamination detection
Hardware configuration:
Main system: Main mini environment platform
SMIF System: (2) ASYST IsoPort
Handler system: ASYST Axys model 21 robot
Options:
Bright field
Vacuum system (Vacuum chuck)
E84: Overhead load system
Chamber components:
ARGON Laser JDS uni-phase 75mW
Chuck vacuum
2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS是為優化檢測和分析過程而設計的前沿掩模和晶圓檢測設備。KLA SP1 DLS具有先進的光學、大視場(FOV)和超高分辨率,它提供了一種自動化的解決方案,可快速識別、表征和分類掩模和晶片表面上與表面相關的缺陷。TENCOR SP 1-DLS的關鍵組件是具有四射線光學功能的雙激光掃描儀(DLS),可同時進行自上而下的掃描、側視掃描和二維(2D)圖像分析。該系統捕獲關鍵缺陷信息,從而可以對掩模和晶片表面進行全面檢查和分析。為了進一步優化表面檢查,SP 1-DLS利用專有的高級算法根據形狀、大小、位置和光學對比度對缺陷進行分析和分類。利用此功能,可以識別和分類表面級缺陷和不可見缺陷。TENCOR SP1-DLS還提供全面的報告功能,使用戶能夠生成高質量的預定義報告或自定義報告。這些報告詳細介紹了關鍵缺陷信息,使工程團隊能夠快速診斷、評估和排除任何適用的掩碼和晶片缺陷。KLA SP 1 DLS允許與其他軟件程序和硬件或基於主機的個人計算機進行無縫集成以進行數據管理。該單元還能夠實時管理缺陷並自動通知令人擔憂的缺陷。它還提供了卓越的可靠性和可重復性,使客戶能夠準確、自信地評估表面缺陷。TENCOR SP1 DLS是業界領先的解決方案,提供準確的缺陷檢測和分析,以及提高上市時間的速度和效率。該機器能夠提供全面、可靠的檢查和分析,消除了停機時間,並降低了與手動檢查和分析相關的成本。寬視野提供了檢查各種表面缺陷的靈活性,而先進的光學和自動化過程則確保了表面缺陷的準確性和可靠性。KLA/TENCOR SP1 DLS是掩模和晶圓檢測的理想解決方案。
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