二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9226889 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一個掩模和晶片檢查設備，設計提供卓越的圖像質量和準確性。它利用先進的光學、照明和軟件技術來提供高度詳細的缺陷表征、高級自動化和易用性。該系統采用定制探測器設計，分辨率大於600萬像素，從而提高了檢測圖樣和汙染缺陷的準確性。光學單元允許多個物鏡允許用戶選擇不同的視場和放大倍率。計算機具有可重新配置的照明模塊,可根據用戶在圖像中需要檢查的缺陷信息,設置該模塊以創建明暗場圖像對比度。光線允許檢查復雜的散射層，並能檢測到剃須刀細線和微小甚至隱藏的缺陷。該工具有一整套專有的測量和缺陷檢測算法。高級軟件包括自動調整功能,可減少對算法參數調整的需求。因此,可以快速輕松地設置資產,以自動檢測和表征尺寸小至6納米的缺陷。此外，算法處理速度比前幾代晶圓檢測系統快幾倍，以更具競爭力的價格提供快速可靠的結果。為了確保準確的檢查結果,KLA SP1 DLS具有經過驗證的、可追蹤的校準模型。設備使用獨立的參考晶片來測量和校正非理想的機器性能或環境變化。這樣可以確保系統的重新配置保持在最低限度,並且結果符合指定的流程標準。該設備具有易於使用的圖形用戶界面（GUI）。GUI允許用戶快速訪問所有檢查設置選項和相關數據。直觀選擇工具和報告功能可以快速引導用戶獲取相關數據。綜上所述，TENCOR SP 1-DLS是一種可靠、功能強大的晶圓檢測機，具有卓越的圖像質量、更高的精度和更方便的設置。有了定制的檢測器設計、先進的光學設備和一整套專有算法,用戶可以確信該工具將提供準確高效的結果。