二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9227708 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一種先進的光學掩模和晶圓檢測設備，設計用於精確的缺陷檢測和管理。它是一個高性能的自動光學檢查系統，配有先進的光學和復雜的算法，可以在納米級檢測和分類IC、掩模和晶片的缺陷和特征。KLA SP1 DLS單元提供了一套集成的硬件和軟件技術,有助於加快復雜設備的生產。其先進的技術用於正面和背面檢查，並提供自動缺陷審查。TENCOR SP 1-DLS機包括獨立的Mask SCORPION檢測工具作為其主要硬件組件。此資產能夠檢測正面和背面遮罩層的缺陷和缺陷。它包括一個最先進的、完全可編程的算法模型作為其硬件的一部分。它與Waferscope光學檢查設備集成,用於全自動處理,使其能夠在晶圓級別快速檢測缺陷、異常或設備特定特征。這種深入分析有助於快速創建可用於減少生產延遲和最大限度提高產量的定制解決方案。KLA SP1-DLS具有精確的對準系統,在高分辨率光學器件的幫助下,它甚至可以檢查掩模層和晶片層的超小臨界區域。它由高密度上升透鏡（HDRL）供電,可在多個設備上提供無與倫比的可重復性和可重復性。SP 1-DLS還具有功能強大的自動缺陷審查（ADR）單元,可提供流程質量控制反饋和流程問題的早期檢測。這有助於加快生產過程並降低總體生產成本。所有這一切，其復雜的矢量引導掩碼晶圓對齊，確保一致的性能和無錯誤的結果。借助這些技術,它有助於快速跟蹤產品產量優化,從而縮短周期時間並提高生產效率。KLA/TENCOR SP1 DLS是高精度、小尺度的掩模和晶圓檢測的完美解決方案。它有助於以極高的精度檢測和快速糾正納米級的誤差和異常。而且它易於使用的界面允許用戶簡化生產並確保最小的延遲。憑借其特點，它旨在實現過程控制、精度和峰值生產率。