二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9232641 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一種掩碼和晶圓檢測設備,它將高精度缺陷檢測與快速、自動化的工作流結合在一起。它旨在提供快速、準確和可靠的結果,以幫助降低半導體行業的生產成本和提高產量。該系統采用了最新的缺陷檢測技術，包括先進的算法和高速圖像處理。這使設備能夠快速、準確、可靠地檢測、定位和分類缺陷。機器可以檢測到各種亮場和暗場缺陷，包括臨界缺陷、光刻熱點和工藝不規則性。此外,該工具還可以靈活地使用各種分析技術來配置檢查作業,包括自動聚焦、基於光譜的成像、不均勻樣品的聚焦拼貼以及基於對比的分析。這樣可以確保準確識別所有相關缺陷。KLA SP1 DLS的高級數據分析功能還使用戶能夠隔離和識別可疑區域，使他們能夠快速診斷和糾正流程問題。系統直觀的用戶界面允許用戶在不犧牲準確性的情況下快速、輕松地調整檢測參數。此外，資產還有一個嵌入式統計分析包，允許用戶比較不同晶圓和工藝步驟之間的結果。該模型旨在提供最大吞吐量和最小停機時間。設備的先進設計為給定的檢測時間提供了最高的吞吐量，晶圓單步裝卸。此外,該系統還配備了多軌晶片處理單元,能夠同時加載和測量,使其成為大批量生產環境中的理想工具。總體而言,TENCOR SP 1-DLS是一種先進的掩碼和晶圓檢測機,可提供高精度缺陷檢測、靈活的分析技術以及單一工具的快速吞吐量。它旨在提供可靠的結果，提高半導體制造的產量。