二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9255089 待售

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ID: 9255089
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Wafer inspection system, 12" Dual FOUP No bright field option No SMIF 2006 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS是為滿足現代半導體工廠的嚴格要求而設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統檢查各種各樣的晶圓模式,以極低的誤報率提供準確的結果。使用KLA專有的嵌入式深度學習算法,KLA SP1 DLS在缺陷審查和分類方面實現了前所未有的準確性。該單元通過用顯微鏡對晶片表面進行成像,然後通過專門的軟件對結果進行分析。然後可以識別模式中的缺陷,並按大小和類型進行表征和分組。機器還可以識別隔離和陣列缺陷,同時區分線寬、線寬/邊緣銳度和線邊粗糙度。TENCOR SP 1-DLS利用高度靈活可靠的晶片制備平臺,使設備操作員能夠快速輕松地準備晶片進行檢測。這個平臺足夠堅固,可以承受重復的清洗程序,並且設計成最大限度地提高生產率和減少每晶片的零件數量。該工具具有自動化的文件傳輸和分析控制界面,使操作員能夠在整個工廠以及上下遊系統中快速輕松地傳輸信息。此界面還提供了一個直觀的用戶界面,使得從遠程位置控制資產變得容易。KLA SP1-DLS包含高級審核驗證功能,使操作員能夠快速輕松地驗證檢查結果。此功能由TENCOR嵌入式深度學習算法備份,準確識別細微的模式變化。此外,該模型還跟蹤工具指標和性能,使操作員能夠快速輕松地診斷和診斷設備性能。總體而言,TENCOR SP1 DLS是一種功能強大、可靠、用途廣泛的掩模和晶圓檢測系統。它先進的嵌入式深度學習算法在缺陷審查和分類方面提供了卓越的準確性,而其自動化的文件傳輸和分析控制功能以及直觀的用戶界面使操作單元成為一種微風。它具有強大的晶片準備平臺和審閱驗證功能,有助於減少每晶片的零件數量,並且其工具計量功能為操作員提供了寶貴的性能信息。綜上所述,SP 1-DLS現代半導體工廠的理想選擇。
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