二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9257954 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一種先進的掩模和晶圓檢測設備，用於檢查用於制造半導體器件的光掩模的精度。光掩碼用於在裝有電子元件的半導體芯片上創建元件，掩碼的質量對於生產高質量的半導體器件至關重要。KLA SP1 DLS系統具有多種復雜技術,可幫助確保對光掩碼進行可靠、準確的檢查,並監控過程更改和診斷缺陷。該單元的核心特點包括高分辨率微鏡成像機、漸進掃描數碼彩色相機、先進的圖像處理算法以及集成缺陷檢測工具。高分辨率微鏡成像資產由一對數碼相機與快速掃描照明結合而成。逐行掃描數碼彩色相機在單個集成周期內捕獲全彩色圖像，而快速掃描照明則用於去除各種背景和表面偽影。TENCOR SP 1-DLS還提供高級圖像處理算法。該模型結合了模式匹配、變換算法和基於濾波器的強度縮放算法來分析圖像和檢測缺陷。通過采用分步分析流程，設備能夠快速識別潛在缺陷，即使在高度復雜的模式中也是如此。集成缺陷檢測系統為分析潛在缺陷圖像提供了方便用戶的解決方案。利用缺陷分析模板,用戶可以方便地對圖像進行缺陷檢測和分類.分類完成後，可以使用自動化工具組織缺陷並生成報告。最後,KLA SP 1 DLS還具有自動缺陷缺陷比較單元,使用戶可以比較多個光掩碼或晶圓之間的缺陷。通過使用此功能,用戶可以快速識別存在缺陷的區域或確定是否出現了新的缺陷。綜上所述，KLA/TENCOR SP 1-DLS機是一種先進的掩模和晶圓檢測工具，用於確保生產可靠的半導體器件的高精度光掩模。該資產采用多種先進技術，如基於高分辨率微鏡的成像模型、漸進掃描數碼彩色相機以及先進的圖像處理算法，快速準確地檢測和分類缺陷。集成缺陷檢測設備提供了一種方便用戶的缺陷圖像檢測方法,而自動缺陷比較系統允許用戶比較多個晶圓和光掩碼之間的缺陷。