二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9267039 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一種先進的用於掩模和晶圓檢驗的計量工具。該設備結合了先進的光學和結構化的光投射技術，與晶圓和掩模檢查能力，以精確監測生產表面。KLA SP1 DLS旨在快速、準確地檢測和分類晶圓、掩模和其他基板上的缺陷。該系統利用成像、數字縮放和模式識別技術，以微觀精度捕捉和測量特征。該裝置設計用於檢查各種基板，包括玻璃、陶瓷和半導體材料。該機器能夠檢測和區分可見粒子、不可見粒子和其他異常。它還能夠檢查納米大小的粒子，這可以提供更詳細的信息，說明任何特定缺陷的性質和復雜性。TENCOR SP 1-DLS利用一種具有先進照明技術的高靈敏度、遠心5軸視圖工具來獲取不同角度的圖像,從而在基板上提供廣泛的覆蓋。可以對資產進行編程,以檢查各種檢查目標大小、位置和測量級別。KLA SP 1-DLS能夠生成具有多個曝光步驟的3D圖像以進行進一步分析。高分辨率的車載彩色相機結合了先進的成像軟件和分析算法，使模型能夠根據缺陷的大小、形狀和位置準確分類。該設備采用板載模式識別系統和統計算法，進一步幫助進行缺陷分類。高級數據記錄軟件支持SP1 DLS,以實現高效的數據采集、審查和歸檔。此外,SP 1-DLS設計為可擴展的,以便可以根據需要將其他傳感器和模塊集成到設備中。這樣可以在檢查過程中實現更多的自動化。總體而言，TENCOR SP1-DLS是一種功能強大、精密的面膜和晶片檢測機器，具有先進的光學和成像能力。該工具的高分辨率成像、數字縮放和模式識別技術加上先進的數據分析算法，使TENCOR SP1 DLS能夠準確地表征和分類不同類型的缺陷。這使得KLA/TENCOR SP1 DLS成為確保半導體行業高精度生產的寶貴資產。