二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9267041 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一種前沿的掩模和晶圓檢測設備,旨在為先進的半導體工藝提供全面的監控和檢測能力。KLA SP1 DLS是一個模塊化的高通量系統,每小時可處理多達600個晶圓,涵蓋各種IC技術,包括尖端的FinFET。它具有業界領先的二維和三維成像技術，用於遮罩和晶圓表面的光學和掃描電子顯微鏡（SEM）視圖。TENCOR SP 1-DLS可以快速檢測缺陷和其他特征,包括表面拓撲、模式識別和叠加錯誤。由於其檢查速度和準確性，該裝置能夠迅速準確地發現問題，從而能夠進行更正，並減少進行昂貴的返工和維修的潛在需要。此外，該機還采用先進的圖像處理技術和算法來支持自動缺陷分類和識別。KLA SP1-DLS允許高級分析功能,包括計量檢查、逐層掩碼檢查、叠加錯誤檢測和間隙檢查。可以調整其自動刀具設置,以確保各種標記類型的最佳參數設置。這樣可以更輕松地識別數據分析的特定參數,從而幫助優化資產的性能。該模型還具有高級聯網功能,允許用戶實時訪問異地數據。這樣可以確保在各種環境中進行分析和數據收集,從而實現更高效的性能。此外,該設備還具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI）,用於快速、直觀地導航數據收集和分析工具。SP1 DLS提供了一整套功能，使其成為現代半導體工藝理想的掩模和晶圓檢測系統。憑借其可靠準確的性能、快速的處理速度、圖形導航和全面的分析工具，該單元是識別和消除最先進的集成電路生產過程中缺陷的必備設備。