二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9267043 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一種最先進的掩模和晶片檢測設備，適用於半導體晶片制造和工程中要求最苛刻的應用。它是一個全面的檢測系統，能夠在廣泛的應用中檢測多個缺陷。功能包括：提高靈敏度的多束掃描、用於檢測小缺陷的高分辨率成像、使用斜光檢測表面和地下特征的3D檢測、用於快速缺陷修復周期的缺陷定位功能,以及用於一次處理多個晶片的高吞吐量。KLA SP1 DLS單元為檢查高級點、線和區域缺陷提供了靈活、經濟高效的解決方案。它有一個大型的視場成像機，用於大面積的檢查，並且可以捕獲高達310毫米（12.2英寸）晶圓的亮場、暗場、邊緣檢測、對比度增強和3D表面測量。它還具有各種圖像分析功能來檢測半導體制造過程中可能出現的各種缺陷。此外,TENCOR SP 1-DLS工具還提供獨特的圖像跟蹤功能,以幫助確保掃描過程中的精度和準確性。該資產還配備了先進的照明能力，提供傾斜和正常照明的組合，以及各種偏振方案，以檢測表面和地下缺陷。這使用戶能夠使用傳統的檢查技術檢測難以觀察到的缺陷,並提高缺陷定位的準確性。KLA SP1-DLS模型能夠集成到任何生產環境中。它還具有實時統計過程控制（SPC）和數據標記功能,可用於快速決策和缺陷管理。該設備提供了強大的軟件和硬件的組合,允許強大而靈活的在線可調缺陷閾值和檢查速度。此外,該系統設計為易於安裝、集成和維護,可提供易用性並支持高吞吐量性能。綜上所述，TENCOR SP1 DLS是一種用於掩模和晶片檢測的綜合解決方案，旨在提供可靠、準確和快速的異常和缺陷檢測。它是一個經濟高效、用戶友好的單元，適合半導體行業最苛刻的檢驗應用。