二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9283698 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是為先進的光掩模、單晶片和批量測試結構設計的前沿掩模和晶片檢測設備。該系統用於檢測光掩碼和晶片中的任何缺陷,並能夠在高速下同時掃描多達12個晶片/掩碼。KLA SP1 DLS配備了多束激光傳感器，能夠一次捕獲多幅圖像。然後分析這些圖像的缺陷,其大小從0.7 μ m到較大的缺陷。缺陷分析既可以手工完成，也可以借助熟練的操作員進行。TENCOR SP 1-DLS單元配備了自動編程和自動檢查功能，使檢查晶片和掩模更容易、更快。機器還有一個缺陷審查程序，允許用戶分割、最小化、可視化、分析和報告缺陷位置。該工具可以處理多種材料，包括有機和無機薄膜，並且能夠捕捉低反射率和高反射率表面的圖像。KLA SP 1-DLS資產為用戶提供高級缺陷檢測、圖像處理和數據分析。它利用實時技術掃描和分析大量數據，快速生成不同角度的多個圖像。數據可以導出到任何第三方軟件以進行進一步分析。該模型具有可自定義的參數,允許用戶根據需要調整缺陷檢測。TENCOR SP 1 DLS設備是市場上最先進的掩模和晶圓檢測系統之一。此高級系統能夠檢測微小的缺陷,提供準確的數據分析和報告生成,並提供價格合理的定價。適用於多種應用，旨在為掩模和晶圓檢測應用提供高性能和可靠性。