二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9375212 待售
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KLA/TENCOR SP1-DLS是由全球流程控制和產量管理解決方案提供商KLA開發的掩模和晶圓檢測設備。該系統旨在使半導體和電子行業的制造商能夠快速準確地檢查其掩模和晶圓設計是否具有尺寸保真度和像素精度。該單元利用先進的成像和模式識別技術掃描和分析所有分辨率和長寬比的掩模和晶片設計。KLA SP1 DLS是一種自動化機器，將照明和計量控制結合到一個單元中，以精確檢查掩模和晶圓表面。它旨在提供快速、可靠的數據比較和驗證,使用戶能夠快速識別異常或缺陷並分析其對產量的影響。該工具包括多種對齊模式和3D地形特征，允許用戶在晶圓和掩模上兩個方向測量和表征結構；一個在X-Y平面中,一個在Z平面中。該資產利用高分辨率數字成像設備和高精度掃描儀來獲取和顯示掩碼和晶圓表面的圖像文件。該模型能夠以高達300納米的分辨率進行圖像捕獲。通過直接內置在系統中的用於精細特征掃描的微型望遠鏡設備，進一步提高了數據精度。該單元配備了一套用於圖像處理和分析的高級軟件工具，包括一個3 D地形工具，允許用戶在晶圓或掩碼上以三個維度測量高度、寬度和其他特征。機器還包括缺陷檢測和比較工具，可用於比較來自不同掩模或晶圓的圖像，以檢測和監視任何大小差異。該工具支持各種行業標準數據格式,如GDS-II、Oasis等。除了復雜的成像和分析能力外，TENCOR SP 1-DLS資產還提供大量的產量分析和過程控制功能。模型既包括幾何檢查報告生成器（可生成缺陷大小和位置報告）,也包括工藝窗口優化工具（可分析和調整每種產品的工藝窗口設置）。該設備還提供了完整的缺陷審查和跟蹤功能以及用於掩碼和晶圓比較的用戶定義公差矩陣。總體而言,KLA/TENCOR SP 1-DLS是一種先進的掩模和晶片檢測工具,可為制造商提供快速準確分析其掩模和晶片設計的方法。它具有一整套成像和分析工具,以及產量分析和工藝控制功能,使制造商能夠優化其生產產量並提高其整體工藝性能。
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