二手 KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9049199 待售

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ID: 9049199
Particle measurement inspection system, 12" Software Version: 4.200 Standard Specification: Haze, Analysis & Normalization MX4.2 SR03 Software Application Desktop Software for first Article Normal & Oblique Illumination Opt, Enhcd Edge Exclusion 2mm Puck Handling - 300/200mm XY Coordinates Hardware Configuration: Microsoft WinXP5.1 E40/E87/E90/E94 E84 enabled for OHT & AGV/RGV GEM/SECS (Comm Port) GEM/SECS (HSMS) ASYST AXYS-21 Robot 300mm Dual FIMS Bulkhead Asyst Two AdvanTag SingleWire CID 4 Color Light Tower Brightfield 2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS是一種高精度、自動化的掩模和晶圓檢測設備。該系統提供了各種各樣的工具,旨在檢測集成電路生產過程中蒙版和晶片中的錯誤。它有助於降低與產品發布前的重新掩蔽、重新檢查和其他糾正修復任務相關的成本。KLA SP1 Surfscan DLS可以檢測薄膜缺陷、峰谷高度測量等表面地形特征以及其他類型的結構和電氣缺陷等錯誤。該單元使用復雜的算法快速準確地檢測晶圓和掩模表面的缺陷。它還支持廣泛的集成電路設計,允許用戶快速可靠地檢測任何設計中的錯誤。TENCOR SP1 Surfscan DLS擁有一臺用於捕捉缺陷圖像的高分辨率彩色成像CCD相機,一臺可配置以適應各種角度和高度以達到最大精度的高品質照明機器,以及一個在需要檢查時精確移動掩模和晶片的自動化機械舞臺。它還具有幾種自動化和半自動化軟件工具,例如用於線路模式修復和分析的E-field校正、用於表面成像和缺陷評估的自動化工具以及自動模式識別等。使用SP1 Surfscan DLS,用戶可以通過創建定制的工藝圖和覆蓋產品流程來輕松獲得生產流程的全面視圖,以監控不同生產線的性能。該工具還支持多個晶圓檢測和缺陷分類功能,以確保每個產品都經過準確可靠的測試和檢查。通過使用KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS,用戶可以在生產過程中發現潛在問題,使其變得嚴重,從而降低與重新檢查、返工和維修相關的成本。總之,KLA SP1 Surfscan DLS是一種功能強大但用戶友好的掩碼和晶圓檢驗資產,有助於確保產品質量和可靠性。它具有高級算法和自動化軟件工具,可快速準確地檢測錯誤,可定制的流程圖和互補的產品流程為用戶提供了生產流程的全面視圖。它的用戶友好界面使用戶能夠在生產過程中準確高效地檢測口罩和晶片的缺陷,幫助降低成本,同時提高產品質量。
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