二手 KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9262807 待售

KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS是為大批量生產環境而設計的掩模和晶圓檢測設備。它提供高吞吐量和準確的自動化缺陷檢查。用於先進IC、MEMS、晶圓、掩模等微電子元件的尖端生產。該系統提供高分辨率的光學覆蓋,用於比較精確對齊的圖像。KLA SP1 Surfscan DLS可以在檢查過程中準確測量元件參數之間的關系。該單元與一系列Chroma Machine Vision技術集成在一起,使其能夠以較大的動態範圍捕獲這些組件的詳細圖像。機器還有一個自動缺陷識別軟件，可以檢測各種各樣的缺陷。TENCOR SP1 Surfscan DLS提供了多種功能,可顯著降低與掩碼和晶圓檢查相關的成本、時間和復雜性。這包括對顆粒、線條、標記和其他缺陷的自動檢查。它配備了可重復結果的自動校準，也消除了人工檢查過程。Themachine還能夠高速並行處理，每小時高達200個晶圓，使其快速完成大型檢查作業。它可以用多種配方設置進行編程，使其能夠處理各種不同的任務和檢查標準。此外,SP1 Surfscan DLS與自動晶圓映射集成在一起,為缺陷分類提供了額外的步驟,並消除了手動標記的需要。它還具有直觀的用戶界面，可用於快速編程和更改作業設置。該工具包括一個廣泛的覆蓋範圍和一個先進的聚焦資產，用戶可以放心地在單個晶片上檢查各種不同的位置。總體而言,KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS提供了針對工業生產環境優化的高性能掩碼和晶圓檢測解決方案。它的自動化檢查功能顯著減少了與晶圓檢查相關的時間和復雜性,直觀的用戶界面使其易於編程和調整作業設置。它的性能和可靠性使得它成為生產IC、MEMS、晶片、掩模和其他微電子元件的絕佳選擇。