二手 KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9262958 待售

KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS是一種用於掃描和開發後缺陷檢測的掩模和晶圓檢測設備。它結合了先進的光學檢測、可靠的數據完整性和全面的評估控制功能,在晶片上實現了可靠可靠的缺陷檢測。Surfscan DLS是用於半導體測試和檢查的強大工具,可提供業界領先的靈敏度、準確性和屈服性能。該系統結合了三種不同的檢測策略：用於翻轉芯片生產的晶圓與數據庫比較、用於檢測平面圖樣時的運動補償以及用於掩模缺陷的圖樣檢查器。模式檢查器組件以最可靠、最準確的檢測算法為檢測缺陷提供了全面的指導。此外，它還可以檢測制造和後制造過程中的缺陷。該單元使用高級算法檢測晶圓上的缺陷並對其進行分類。它結合了大小、形式、強度和對比度等屬性，準確地對每個缺陷進行分類。該算法支持多種缺陷類型,包括開路/短路、線性和橋接缺陷、隔離和聚類缺陷以及背面缺陷等。機器提供各種測量功能,能夠對每個缺陷進行深入分析。可以導出每個缺陷的缺陷特定信息以進行進一步分析或查看。此外，用戶可以選擇一系列與缺陷相關的參數來有效地分析缺陷。帶有可調網格線的顏色編碼地形圖可方便地分析布局錯誤。最後,Surfscan DLS配備了多項功能,以確保可靠的數據分析和改進的工作流程。它支持自動主動偏差通知和缺陷跟蹤工具,能夠快速高效地分析和復制缺陷群集。此外，資產包括與其他KLA系統的完全集成，允許與掩碼和光掩碼檢查工具集成。總體而言,KLA SP1 Surfscan DLS是一種非常有價值的工具,可用於有利可圖的高效半導體檢測。它提供了強大的光學檢查、強大的數據集成以及全面的評估控制功能,可提供最佳的缺陷檢測和屈服性能。