二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9082120 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一種先進的面罩和晶圓檢測設備。利用先進的雙光束檢測技術，實現了對微芯片缺陷的快速可靠檢測。該系統能夠檢查各種特征,從線寬到間距、缺陷、邊緣放置誤差和其他類型的不規則性。KLA SP1-TBI SURFSCAN單元由三個主要組件組成：光學閱讀器、智能光學檢測單元和模式識別引擎。光學閱讀器由兩束超快激光束組成，可用於測量掩模或晶圓表面的寬場點。探測器使用智能傳感單元收集晶圓特征的信息，如線寬、間距和不規則性。它還提供了適合於二維和三維空間測量的精確結果。模式識別引擎負責分析光學閱讀器和檢測器收集的數據，並根據收集到的信息做出決策。它可以執行各種任務,例如識別線寬、檢查邊緣放置錯誤以及查找電路中的電流短路。此外,它還可以從所提供的掩碼和晶圓圖像中檢測到新的、看不見的缺陷。總體而言,TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一種強大可靠的掩模和晶圓檢測機.它旨在提供快速的結果，並保證在檢查各種應用的掩模和晶片時的準確性和可重復性。該工具具有高靈敏度和檢測能力,可確保以最高的質量和可靠性標準制造芯片。