二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9082121 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是為高精度半導體生產而設計的先進的掩模和晶圓檢測設備。它是KLA首次推出的Surfscan系列車型，於2004年商用。該系統是一個自動化的無損檢測單元，能夠檢查和分析用於缺陷檢測和分類的掩模和晶片。機器的雙源高分辨率光學成像有助於檢測缺陷。這提供了高對比度圖像的寬視野，同時掃描光傳感器測量過程中的反射光強度。該工具配有集成的晶片夾緊機構，並具有確保晶片放置準確和穩定的尖銳特征。所有這些因素共同使資產非常適合檢查晶圓的不同形狀、大小和復雜拓撲,同時保持高分辨率。KLA SP1-TBI SURFSCAN的主要特點之一是其先進的缺陷分類能力。它使用基於軟件的專有算法,允許將缺陷自動分類為故障類型,如線緣粗糙度、調制、觸發器、螺紋和橋接。這種自動化的特性使經過檢查的掩模和晶片設計能夠準確評估產量和可靠性。TENCOR SP1-TBI SURFSCAN還能夠報告基於圖像的過程控制數據，這在半導體生產中極為重要。此數據包括線寬測量、缺陷密度、蝕刻非均勻性、填充和填充深度。這使制造商能夠完全控制其生產過程並獲得對其的關鍵洞察力。SP1-TBI SURFSCAN是確保半導體設計生產盡可能高質量的寶貴工具。它是一個集成的模型，能夠提供對掩模和晶圓設計的快速和精確的分析，從而為制造商節省時間和金錢。同時，它提供了一種有效的方法來確保過程的準確性和可靠性，確保所生產產品的最高質量。